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钨灯丝扫描电子显微镜
上传时间:2017年08月10日

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  • JSM-IT100多功能扫描电镜,凝聚了日本电子50年来的SEM技术精华,外形设计紧凑。新开发的标准机型,不仅保持了InTouchScope系列广受好评的可操作性,还拥有能与高端机型相媲美的可扩展性,应用范围涵盖以生物技术和纳米技术为首的包括材料开发、测试、评估和缺陷分析及质量控制等广泛领域。 配置EDS功能的机型,其集成化的软件系统能完成从图像观察、元素分析到生成报告的连贯操作。InTouchScopeTM自2010年上市以来,客户已遍及世界多国,累计销售量超过1,000台以上,是钨灯丝扫描电镜中最畅销的机型。


  • 触控屏带来更加直观、舒适的操作

  • ・ 采用触控屏,操作更直观。

  • ・ 用操作面板*和鼠标都能操作,用户可根据自己的爱好来选择。


  • 操作步骤简明易懂,初学者易于掌握

  • 采用了高度集成的GUI,一键点击就可实现SEM和 EDS之间的切换,从图像观察到元素分析能在同一个窗口进行操作。 连贯的操作步骤使初学者也能简便、放心地使用。


  • 照样品交换导航的指示依次按下按钮,就能顺利地交换样品

  • ・ 如果安装马达驱动样品台*和样品台导航系统*,寻找感兴趣的视场,感觉像使用光学显微镜一样。

  • ・ 安装EDS导航器,有助于元素分析的操作。


  • 可安装和高端机型同样选配件的多功能SEM

  • ・ 配有低真空功能,即使是非电性样品不经预处理也能进行观察和分析。

  • ・ 除了低真空观察、元素分析及可安装5轴马达驱动样品台外,加速电压还可以扩展到30kV(选配项)。


  • 扩展了EDS的区域分析、线分析等功能

  • ・ 采用日本电子制造的EDS,实现了GUI的高度集成,可以在同一窗口进行SEM和EDS之间的切换。

  • ・ InTouchScopeTM 系列的EDS还扩展了区域分析、线分析和实时过滤功能。


  • 省空间,仅需一个100V的电源插座即可,不需要冷却水,安装方便

  • ・ 与本公司的旧机型比较,安装面积减少了30%左右,仅需要和台式SEM大约相同的空间就可安装。

  • ・ 可使用100V的电源插座。不需要冷却水,安装简单,对安装环境没有特殊要求。


产品规格



高真空模式: 3 nm(30 kV *1)、4 nm(20 kV)、8 nm(3 kV) 、15 nm(1 kV)
分辨率低真空模式*2: 4 nm(30 kV *1)5 nm(20kV)
放大倍率× 5 ~× 300,000 (图像尺寸:128mm × 96mm)
低真空范围                            *2低真空范围 *2
加速电压0.5 kV ~ 30 kV                            *1
0.5 kV ~ 20 kV
灯丝工厂预对中钨灯丝
电子枪可以完全自动和手动调节
聚光镜高精度变焦聚光镜
物镜锥形物镜
物镜光阑固定光阑,带有XY 微调功能
像散记忆10pa~300pa
样品台全对中样品台
X: 80 mm、Y: 40 mm、Z: 5 mm ~ 48 mm、倾斜: -10°~ + 90°, 旋转: 360°
最大样品尺寸150 mm  直径
图像格式BMP、TIFF、JPEG
EDS功能*3谱图采集、点分析、定性分析、定量分析、元素面分布、束流追踪
标准菜单
客户菜单观察条件、样品台、真空模式
自动功能灯丝调整、自动对中、自动聚焦、自动消像散、自动衬度/亮度
真空系统完全自动、TMP: 1台、RP: 1台
  • 主要选配件

  • 加速电压扩展 ( AEK )

  • 低真空用二次电子检测器

  • 样品台导航系统

  • 样品室观察装置

  • 操作面板

  • 可动光阑

  • 马达驱动样品台 (XY、XYZ、XYR、5轴驱动)

  • Dry SD 能谱仪检测器 (10mm, 30mm, 60mm, 100mm)

  • 3D测量软件 (3D Sight)


  • *1 : 加速电压扩展时

  • *2 : LV 和 LA 型为标配

  • *3 : A 和 LA 型为标配

  • *4 : 使用马达样品台可以安装




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